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MFC流量控制器由傳感器，接入器，主機，監控設備，人機界面和節流閥(或者節流閥組)組成。傳感器收集流量等信息，通過接入器接入到主機，這個主機由可能是單片機，也可能是PC機，甚至可能是更高級的計算機。MFC流量控制器是一個多孔板組合的聯動裝置...

高純氮氣常在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。而在航天技術中，也需要高純氮做置換氣體。1、消防措施危險特性：若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。有害燃燒產物...

標準氣體的穩定性是配制和使用過程中的關鍵問題。裝入高壓鋼瓶中的標準氣體理論上在保存和使用過程中其濃度值不應發生變化。但實際上，標準氣體中的組分氣體或不純物與容器內壁接觸時往往引起吸附、解吸、化學反應等現象而使其濃度值隨時間發生變化，濃度越低...

二氧化碳是一種無色，無味，無毒且不易燃的氣體。它略帶酸性。它用于廢水處理，作為電子設備環境測試中的冷卻介質。它也可用于增加超純水的電導率，用于二氧化碳雪磨擦清洗晶圓上的殘留物。它在自身的蒸汽壓力下作為液化氣體運輸。高純二氧化碳主要用于電子工...

同位素氣體是指氣體具有相同質子數，不同中子數(或不同質量數)同一元素的不同核素互為同位素氣體。來簡單了解下同位素氣體是什么吧。例如：氫有三種同位素，H氕、D氘(又叫重氫)、T氚(又叫超重氫)；碳有多種同位素，12C、13C和14C(有放射性...

EPC電子壓力控制器是一種氣相色譜儀電子氣路控制部件，它實質上是采用電子壓力傳感器、流量傳感器和比例電磁閥，通過電路控制實現壓力、流量和線速度等諸多功能的計算機反控。作為氣相色譜關鍵部件之一的EPC是現代氣相色譜儀*的重要組成，其性能指標的...